美国 Laurell WS-650Lz-23NPPB匀胶旋涂仪
数码速度控制器采用的是一个高计数位的光学编码器输入至伺服马达控制器，其设置点精度小于0.006%，获美国NIST激光测量标准认证，无需校准。可设定存储20个不同样片的旋涂程序段；每个程序段可以设置51步不同的速度状态；旋转涂膜仪随意任意时间范围的加减速，可重复性达到+/-0.5RPM，分辨率小于0.5RPM；这一系列的旋转涂膜仪上的液晶显示屏可以实时读取任意速度状态。腔体尺寸241mm，旋涂加速度0~12000rpm/s
主要规格和技术参数
可使用于碎片、小片、4 寸及 6 寸的样品。不同尺寸样品配备不同尺寸的吸盘。
主要功能及特色
旋涂仪搭配真空泵一起使用，可将光刻胶涂抹于基片上，并保证胶体厚度的一致性和均匀性。
主要附件及配置
真空泵，硅片定位杆，透明胶圈
