Laboratory Overview

实验室概况

清华大学电磁与微纳测试开放实验室(以下简称“实验室”)是集科研、教学和社会服务于一体的综合性实验室,致力于推动电磁与微纳领域的科技创新和产业发展。

实验室位置与设施:实验室包含电磁综合检测中心、电子综合检测中心、高端光电子芯片创新中心和微纳光电子综合测试中心四个专业检测中心。其中,电磁综合检测中心和微纳光电子综合测试中心位于清华大学电子工程馆,电子综合检测中心和高端光电子芯片创新中心位于清华大学天津电子信息研究院。各中心均配备国际先进的仪器设备,如电磁屏蔽吸波暗室、矢量网络分析仪、毫米波检测分析系统以及扫描电子显微镜等。

实验室检测项目:已获认可并可使用CNAS和国际互认标志的检测项目,如移动通信天线的天线驻波、隔离度、天线功率方向图、天线增益等;半导体光电器件的微米级尺寸测量、纳米级尺寸测量等;纳米材料的微观形貌、拉曼光谱定性分析、红外光谱定性分析等;集成电路的输入、输出反射系数的模、线性增益等,以及非磁性、无毒、无放射性固体材料的微米级和纳米级长度等。还包括相关领域的其他解决方案。

实验室科研与创新能力:实验室深入贯彻落实京津冀创新驱动、协同发展国家重大战略,推动科研平台优势互补和协同创新。在电磁与微纳领域,实验室具备国际互认的CNAS实验室的硬件条件、检测能力以及管理水平。目前,实验室已在微纳光子学、光谱分析与成像技术等领域取得了显著的研究成果,“微纳结构光电子芯片关键制备工艺及应用”成果荣获2022年天津市技术发明特等奖,为我国科技进步和产业升级做出了重要贡献。