仪器名称：半自动探针台
生产厂家: Cascade
型号：Summit12000
技术指标：
? X-Y方向移动范围：203mmx203mm
? Z方向：5mm
? Theta移动范围:±5.5°
?温度范围：-50℃—200℃
功能特色：
?可针对 DC、RF、mmW、FA、WLR 等进行重新配置
?适用于小型和大型多站点探针卡的完整解决方案
?可在宽温度范围内提供稳定和可重复的测量
?快速、安全和轻松的晶圆接触
?快速设置和测试数据收集
?多种温度下的无人值守测试
?增强型光学可视化、快速设置、以及晶片内和晶圆导航功能
?自动晶片尺寸测量和晶圆对准
?实现了快速子晶片导航
