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设备信息
重大仪器设备
仪器名称：聚焦离子束电子束双束显微镜
生产厂家: 蔡司
型号：Crossbeam 540
技术指标：
扫描电镜部分
?分辨率：0.9nm@15KV（SEM）
?加速电压：0.02-30KV（SEM）
?电流：10pA-40nA（SEM）
?放大倍数：12x—2000000x（SEM）
聚焦离子束部分
?分辨率：3nm@30KV
?加速电压：0.5-30KV
?电流：1pA-100nA
?放大倍数：300x—500000x
功能特色：加工微纳光栅、加工定制化图形、三维重构、芯片修补、透射制样等
