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设备信息

桌面型扫描电子显微镜

重大仪器设备

微纳样品观察及操作转移系统

桌面型扫描电子显微镜:可实现130,000x的放大倍数,分辨率优于14nm。其特点是制样简单便捷,换样过程中抽真空时间只需15

自主搭建的微纳样品观察及转移加工平台,可对纳米线/二维材料进行微操作及微加工。

主要规格和技术参数

背散射电子探测器,CeB6灯丝,5,10,15KV加速电压

主要功能及特色

Phenom Pro 是一款使用高亮度 CeB6 灯丝的高分辨率台式扫描电镜。观察纳米或者亚微米样品的微观结构,放大倍数要求在 130,000 倍以下。基于新一代高亮度 CeB6 灯丝和全新的聚焦系统,Phenom Pro的分辨率轻松达到 14 nm,同时具有全自动操作、15 秒快速抽真空等特点。

主要附件及配置



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